BALLUFF传感器是工业实践中常用的一种传感器，广泛用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、管道等众多行业。一般是指将变化的压力信号转换成对应变化的电阻信号或电容信号的敏感元件，如压阻元件、压容元件等。

 

　　BALLUFF传感器是目前应用广泛的一种产品。传统的传感器以机械结构型的器件为主，利用压电效应把弹性体的形变转换成对应压力的大小。随着半导体技术和MEMS技术的发展，其性能得到大幅提高，不仅体积小、质量轻、功耗小，而且精度、稳定性、可靠性更高，这也大大扩展了它的应用市场。它主要是为了解决高温环境下各种气体、液体压力的测量，广泛用于锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域压力的测量。这些领域中传感器都处于高温环境条件下工作，使得传感器的放大电路工作很容易失效，这也是高温压力传感器设计的难点。理想的解决办法就是将传感器件与放大电路相分离，其中传感器件由MEMS工艺来实现，信号激励与信号处理由计算机来完成。

 

　　现在研究比较多的传感器主要有SOS、SOI、SiO2、Poly2Si等半导体传感器，还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。与传统的压阻式压力传感器相比，半导体电容式压力传感器具有灵敏度高、温度稳定性好、功耗小等优点，而且流量计只对压力敏感，对应力不敏感，所以，电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。