日本山武azbil蓝宝石隔膜真空计提供基于现场积累的实绩以及新算法开发的易于使用的?性能??品质的压力变送器、真空计。

蓝宝石隔膜真空计

型号 SPG5□/6□/7□

蓝宝石隔膜真空计 SPG5/6/7的受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过

检测静电容量，即使在高温检测环境下也能实现高的检测重复性。

通过先进的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测，由微加工技术而形成的蓝宝石

传感器实现了小型、轻量化的自加热型隔膜真空计。

日本山武azbil蓝宝石隔膜真空计提高品质

真空计多数在有大的压力环境下使用，是容易因各种原因引起零点漂移的产品。真空计的零点漂

移会影响控制量，从而会影响最终产品的品质。蓝宝石隔膜真空计采用了零点不易漂移的构造。

提高生产性

减少了设备的?；奔?。备有用于减少?；苊馐奔淅朔训墓δ?。

azbil蓝宝石隔膜真空计改善工艺

改善对以前只能通过压力信号的变化才能识别的各种信息进行可视化的工艺的客户作出贡献。

蓝宝石隔膜真空计是一种具有多种特点和优势的真空测量仪器。

其受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过检测静电容量，即使在

高温检测环境下也能实现高的检测重复性。通过先进的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小

的检测，由微加工技术而形成的蓝宝石传感器实现了小型、轻量化的自加热型隔膜真空计。

azbil蓝宝石隔膜真空计

真空计多数在有大的压力环境下使用，容易因各种原因引起零点漂移，而蓝宝石隔膜真空计采用了零点

不易漂移的构造，从而避免了零点漂移影响控制量和最终产品的品质。

这种真空计有助于提高生产性，减少了设备的?；奔?，备有用于减少停机避免时间浪费的功能。

同时，它还能改善工艺，将传统上仅从压力信号的变化中理解的各种信息可视化，为客户的流程改进作出贡献。

azbil蓝宝石隔膜真空计

例如，阿自倍尓株式会社（Azbil Corporation）近日宣布开始销售的新款 V8 蓝宝石隔膜真空计，通过 MEMS

 加工技术强化了传感器上的抗沉积性能，使零点偏移大幅减少到现有 SPG 型号的十分之一。此外，V8S 型

还具有一个与测量头分立的控制单元，能够在 250°C 高温下使用。

总之，蓝宝石隔膜真空计在半导体工艺等领域发挥着重要作用，不断的技术创新使其性能不断提升，为

相关行业的发展提供了有力支持。